제품안내

홈 > 제품안내 > 반도체용특수가스
  • 종류 용도 종류 용도 종류 용도
    CO-N₂-CO₂ 대기오염측정,
    연소실험,
    자동차배기
    가스측정
    각종분석기용
    표준가스
    		 P-I-A-N-O 대기오염측정,
    연소실험,
    자동차배기
    가스측정
    각종분석기용
    표준가스
    		 He -H₂ 대기오염측정,
    연소실험,
    자동차배기
    가스측정
    각종분석기용
    표준가스
    CO-N₂-O₂ C₃H₄-O₂ H₂-Ar
    He -N₂ H₂-N₂ CH₄-N₂-O₂
    C₂H₄-N₂ H₂S -N₂ CH₄-Ar
  • 종류 용도 종류 용도 종류 용도
    H₂-N₂-CO₂ 레이저발진
    특수용법    		 CH₄-N₂-H₂ 의료,
    식품포장    		 N₂-CO -CO₂ 레이저발진,
    조명, 호흡,
    방사능
    PDP, LEDTV
    He -N₂-CO₂-CO H₂-N₂ O₂-CO -N₂
    He -Ar NO -N₂ Xe -He -Ne
  • 가스명 순도(%) 가스명(L) 순도(%)
    Ne-Ar Ne(N₃0) 75%
    Ar(N600) 25%    		 N₂-CO₂-He CO4.5~6%
    N₂13.5~20%,
    He Balance
    F₂-He F₂5%, He Balance F₂-Ar -Ne F₂0.1%~10%
    Ar 1&~25%,
    Ne Balance
    CO-N₂-CO₂-He CO 2%, N₂8%
    CO₂8%, He Balance    		 HCI-Xe-H-Ne HCI 0.1%~1.0%,
    Xe 1%~10%,
    H₂0.02%~0.05%,
    Ne Balance