제품안내

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  • 품명 용도 품명 용도
    SiH₄ 반도체, 태양광셀 생산 CO 반도체공정용
    SiH₂Cl₂ 반도체공정용 C₃F8 반도체공정용
    Si₂H₂ 반도체공정용 NF₃ 반도체공정용
    AsH₃ 반도체공정용 HCl 기판 에칭용
    B₂H₄ 로켓용 연료 SiCl₄ 반도체공정용
    Cl₂ 살균,소독용 SF6 전기 절연용
    BCl₃ 반도체공정용 WF6 반도체공정용
    BF₃ 물질 합성용 N₂O 반도체공정용
    PH₃ 반도체공정용 CF₄ 반도체공정용
  • cvd가스

    NF₃(암모니아)/CH₄(메탄)/N₂O (아산화질소)/WF6(육불화텅스텐)

  • 실란계가스

    SiH₄(모노실란)/Si₂H6 (디실란)/SiCl₄(테트라클로로실란)/SiH₂Cl₂(디클로로실란)/SiF₄(테트라플루오르실란)

  • 도핑용 가스

    B₂H6(디보란)PH₃(포스핀)AsH₃(아신)

  • 에칭,크리닝용가스

    HCl (염화수소)/ Cl₂(염소)/BCl₃(삼염화붕소)/CC1₄(사염화탄소)NF₃(삼불화질소)/SF6 (육불화황)/CF₄(사불화탄소)/CHF₃
    (삼불화메탄)/C₂F6 (육불화 에탄)

  • 기타특수가스

    SH6/ CH4/ HC1/ Kr/ Ne/ Xe