홈 > 제품안내 > TOXIC 가스
| 품명 | 용도 | 품명 | 용도 |
|---|---|---|---|
| SiH₄ | 반도체, 태양광셀 생산 | CO | 반도체공정용 |
| SiH₂Cl₂ | 반도체공정용 | C₃F8 | 반도체공정용 |
| Si₂H₂ | 반도체공정용 | NF₃ | 반도체공정용 |
| AsH₃ | 반도체공정용 | HCl | 기판 에칭용 |
| B₂H₄ | 로켓용 연료 | SiCl₄ | 반도체공정용 |
| Cl₂ | 살균,소독용 | SF6 | 전기 절연용 |
| BCl₃ | 반도체공정용 | WF6 | 반도체공정용 |
| BF₃ | 물질 합성용 | N₂O | 반도체공정용 |
| PH₃ | 반도체공정용 | CF₄ | 반도체공정용 |
NF₃(암모니아)/CH₄(메탄)/N₂O (아산화질소)/WF6(육불화텅스텐)
SiH₄(모노실란)/Si₂H6 (디실란)/SiCl₄(테트라클로로실란)/SiH₂Cl₂(디클로로실란)/SiF₄(테트라플루오르실란)
B₂H6(디보란)PH₃(포스핀)AsH₃(아신)
HCl (염화수소)/ Cl₂(염소)/BCl₃(삼염화붕소)/CC1₄(사염화탄소)NF₃(삼불화질소)/SF6 (육불화황)/CF₄(사불화탄소)/CHF₃
(삼불화메탄)/C₂F6 (육불화 에탄)
SH6/ CH4/ HC1/ Kr/ Ne/ Xe
